| Subwellenlängenauflösung bei einem Interferenzmikroskop In der konventionellen optischen Mikroskopie ist die Auflösung unter
anderem durch die Wellenlänge des Lichtes begrenzt.
Ziel des Projektes war es, durch zusätzliche Phasenmessung im Fernfeld eine
Erhöhung der Auflösung zu erreichen. Es ging dabei nicht um eine
quantitative Verbesserung durch Kurvenanpassung bei gutem
Signal-Rausch-Verhältnis, sondern um eine qualitative Verbesserung durch
die Auswertung charakteristischer Merkmale wie beispielsweise die
Detektion von Phasensingularitäten. Diese können in der Umgebung einer
sub-Wellenlängenstruktur im reflektierten Licht entstehen und ins Fernfeld
abgebildet werden. Es wurde experimentell gezeigt, dass mit Hilfe der
Phasenverteilung eine Charakterisierung kleiner Strukturen möglich ist, wenn bereits auf Information über einige Objektparameter zurückgegriffen
werden kann.
| Projektleitung:
Prof. Dr. Gerd Leuchs
Beteiligte:
Dr. Susanne Quabis, Dr. Ralf Dorn, Dr. Manfred Eberler
Laufzeit: 1.1.1999 - 31.12.2000
Förderer:
DFG
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| Dorn, Ralf ; Eberler, Manfred ; Piringer, Manfred ; Quabis, Susanne ; Leuchs, Gerd: Untersuchung von Phasensingularitäten in der Umgebung kleiner Strukturen mit einem Linnik-Interferenzmikroskop. In: TM-Technisches Messen 67 (2000), Nr. 10, S. 421 |