Technik der Halbleiterfertigungsgeräte2.5 ECTS

Lehrveranstaltungen:

• • Technik der Halbleiterfertigungsgeräte
    (Vorlesung, 2 SWS, Lothar Pfitzner et al., Mi, 15:15 - 17:45, Hans-Georg-Waeber-Saal, (außer Mi 1.12.2010, Mi 15.12.2010); ab 27.10.2010; Am 08.12. Vorlesung ab 16:00, am 15.12. Reinraumbesichtigung (ab 11:00), 19.&26.01. Reservetermine; Vorbesprechung: 27.10.2010, 15:15 - 15:45 Uhr, Hans-Georg-Waeber-Saal)

Inhalt:

Die Vorlesung beschäftigt sich mit Fertigungsanlagen und Messgeräten für einzelne Prozessschritte der Halbleitertechnologie sowie mit der Integration verschiedener Prozessgeräte in einer Fertigungslinie. Besonders berücksichtigt werden dabei mechanische und elektrische Anlagentechnik, Maschinenelemente, Subkomponenten, Maschinensteuerung, Anlagenverkettung bis hin zu Betriebsstoffen und Sicherheitstechnik, aber auch Kosten und Ausbeutebetrachtungen. (Teil I - Technologie der Prozessgeräte: Cost-of-Ownership, Kontamination und Defekte, Ausbeute, AEC (Advanced Equipment Control), APC (Advanced Process Control), Einzelprozesstechnik: Anlagen zur Oxidation, Diffusion und Temperung, Implantationsanlagen, Geräte zur Strukturübertragung und zur Strukturierung, Geräte zur Schichtabscheidung und Metallisierung, Anlagen für Halbleitermesstechnik und Prozesskontrolle. Teil II - Fertigungslinien: Maschinen- und Anlagenkonzepte, Scheibenhandhabung und -transportsysteme, Partikelmesstechnik, Fertigungstechnik im Reinraum und CIM, Reinraumtechnik und Infrastruktur.)

Literatur:

• Vorlesungsskript (gedruckt/auf CD/im WEB)

• C. Y. Chang, S. M. Sze: ULSI - Technology, MacGraw-Hill, 1996

• R. P. Donovan: Contamination-Free Manufacturing for Semiconductors and Other Precision Products, Marcel Dekker Inc, 2001

• A. C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, Marcel Dekker Inc, 2001

• Yoshio Nishi: Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology, Marcel Dekker Inc, 2000

• Sematech Dictionary: www.sematech.org/publications/dictionary