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Prozess- und Bauelemente-Simulation (ProBaSim)2.5 ECTS (englische Bezeichnung: Process and Device Simulation)
Modulverantwortliche/r: Jürgen Lorenz Lehrende:
Jürgen Lorenz
Start semester: |
SS 2021 | Duration: |
1 semester | Cycle: |
jährlich (SS) |
Präsenzzeit: |
30 Std. | Eigenstudium: |
45 Std. | Language: |
Deutsch |
Lectures:
Empfohlene Voraussetzungen:
Ein voriger Besuch der Vorlesung Technologie Integrierter Schaltungen ist für das bessere Verständnis empfehlenswertIt is recommended to finish the following modules before starting this module:
Technologie integrierter Schaltungen (WS 2020/2021)
Inhalt:
In der Halbleitertechnologie wird eine Vielzahl von Prozessschritten zur Herstellung der Bauelemente verwendet. Aufgabe der Prozesssimulation ist die Voraussage vor allem der Geometrien und Dotierungsverteilungen dieser Bauele-mente, woraus dann mithilfe der Bauelementesimulation die elektrischen Eigenschaften abgeleitet werden können. Insgesamt dient die Simulation dem besseren Verständnis der Prozesse und Bauelemente sowie der Reduktion der Entwicklungszeiten und –kosten.
In diesem Modul werden die zur Beschreibung der einzelnen Prozessschritte verwendeten physikalischen Modelle dargestellt, wobei sowohl auf die historische Entwicklung als auch auf den aktuellsten Stand der Forschung eingegangen wird. Zur Auswertung dieser Modelle in ein- und mehrdimensionalen Simulationsprogrammen benötigte Algorithmen werden zusammengefasst. Anhand von Anwendungsbeispielen werden spezielle technologische Effekte und ihre simulationsmäßige Beschreibung diskutiert. Des weiteren werden die Grundlagen der Bauelementesimulation dargestellt. Das Modul schließt mit einer Bestandsaufnahme der in der Industrie verbreitetsten Prozesssimulationsprogramme sowie einem Ausblick auf die weitere Entwicklung des Gebiets sowie seiner Anwendungen.
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
- Verstehen
- interpretieren die Bauelementesimulation als Verfahren zur „Ausmessung“ der hergestellten Bauelemente
- Anwenden
- verstehen grundlegende Methoden der Prozess- und Gerätesimulation (Modelle, Algorithmen, Anwendung)
- Analysieren
- analysieren anhand der Prozess- und Bauelementesimulation die Bedeutung und Anwendung der Simulation in den Ingenieurwissenschaften im Allgemeinen
Studien-/Prüfungsleistungen:
Prozess- und Bauelemente-Simulation (Prüfungsnummer: 49641)
- Prüfungsleistung, mündliche Prüfung, Dauer (in Minuten): 30, benotet, 2.5 ECTS
- Anteil an der Berechnung der Modulnote: 100.0 %
- Erstablegung: SS 2021, 1. Wdh.: WS 2021/2022 (nur für Wiederholer), 2. Wdh.: keine Wiederholung
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