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Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente (TESIPRAK)2.5 ECTS (Prüfungsordnungsmodul: Laborpraktika Mikroelektronik)
Modulverantwortliche/r: Lothar Frey Lehrende:
Lothar Frey
Startsemester: |
WS 2011/2012 | Dauer: |
1 Semester |
Präsenzzeit: |
45 Std. | Eigenstudium: |
30 Std. |
Lehrveranstaltungen:
Empfohlene Voraussetzungen:
Inhalt:
Das Praktikum zur Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente vermittelt einen ersten praktischen Einstieg in die Halbleitertechnologie. Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer Solarzelle werden die Herstellungsschritte Oxidation, Implantation, Lithographie, Ätzen und Metallisierung durchgeführt. Darüber hinaus werden wichtige Messverfahren zur Prozesskontrolle wie Schichtdickenmessverfahren, Schichtwiderstandsmessverfahren vorgestellt und zum Schluss die hergestellten Solarzellen an Hand ihrer Strom/Spannungs-Kennlinie elektrisch charakterisiert (Wirkungsgrad etc.).
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
erwerben Sachkenntnisse über die Funktionsweise von Solarzellen,
lernen typische Prozessgeräte und Methoden der Prozesskontrolle in einer Halbleiterfertigung kennen,
sammeln Erfahrung im Umgang mit Halbleiterscheiben unter den besonderen Arbeitsbedingungen eines Reinraumes
und sind in der Lage die verschiedenen Technologieschritte hinsichtlich ihrer Vor- und Nachteile zu bewerten.
Literatur:
- Praktikumsskripte
Frey, L.: Skripten zu den Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und Prozessintegration und Bauelementearchitekturen (am Lehrstuhl erhältlich)
Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994
Organisatorisches:
Teilnahme an Vorbesprechung erforderlich
Weitere Informationen:
www: http://www.leb.eei.uni-erlangen.de/
Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
(Po-Vers. 2009 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik)
Dieses Modul ist daneben auch in den Studienfächern "Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)" verwendbar. Details
Studien-/Prüfungsleistungen:
- Studienleistung, benotet
- weitere Erläuterungen:
- Vorbereitung auf jeden Versuch
Teilnahme an allen Versuchen
Anfertigung von Versuchsprotokollen
Teilnahme und Bestehen des Abschlusstesttats
- Erstablegung: WS 2011/2012, 1. Wdh.: SS 2012, 2. Wdh.: keine Wiederholung
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