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Departments >> Faculty of Engineering >> Department of Electrical-Electronic-Communication Engineering >>
Chair of Electron Devices
Address: Cauerstraße 6, 91058 Erlangen
Phone:++49/9131/8528634
E-Mail:LEB-Sekretariat@fau.de
www:https://www.leb.tf.fau.de

In Kürze...

Focus of research

  • Technologie und Simulation mikroelektronischer Bauelemente und Schaltkreise auf Silicium- und Siliciumkarbid (SiC)-Basis
  • Entwicklung von Prozessschritten

  • Entwicklung von Sensoren und Aktoren

  • Leistungselektronische und mechatronische Systeme

  • Halbleiterfertigungsgeräte und Materialien

  • Simulation von Geräten und Fertigungsschritten

  • Kontaminationsanalytik und Fehleranalyse

  • Ionen- und Elektronenstrahlfeinbearbeitung (FIB)

Weitere Informationen auch unter:

Research-relevant technical equipment

  • Halbleiterprozesstechnik (1000m2 Klasse 100 Reinraum, 150mm Siliciumtechnologie, 0,8µm CMOS-Prozess, Sonderprozesse bis Scheibengrösse 300mm verfügbar, Labor für Ionenimplantation)
  • Elektrische Messtechnik (u.a. Bauelementecharakterisierung mit manuellen und automatischen Waferprobern, Lebensdauermesstechnik (Elymat, µ-PCD), Oxidcharakterisierung, Elektronenstrahltester)

  • Physikalische und chemische Analytik (FIB, REM, TEM, AFM, SIMS/SNMS, XPS, RBS, div. massenspektrometrische Verfahren, TXRF(TRFA), optische Partikel-/Defektkontrolle)

  • Parallelrechner, Workstations für Simulation und Design, Entwicklungswerkzeuge für Anlagen- und Messplatzsteuerungen (SieFuzzy, SieMatic, µC Entwicklungsumgebung, LabView)

Cooperation partners

vielfältige Kooperationen im In- und Ausland, u.a.:

  • Infineon Technologies (München, Villach)

  • Nanoworld Services (Erlangen)

  • ELMOS (Dortmund)

  • ZMD (Dresden)

  • Texas Instruments, Freising

  • Universitäten: Osaka (Japan), Trient (Italien), Bochum, München (UniBW), Zürich (ETH), IIT Kharagpur (Indien), North Carolina State University (USA)

  • Ungarische und Russische Akademien der Wissenschaften

  • Forschungsinstitute: Fraunhofer IISB (Erlangen), IMEC (Leuven, Belgien), CEA-LETI (Grenoble, Frankreich), Tyndall Research Institute (Cork, Irland)

Publication series

Jahresberichte des Lehrstuhls unter http://www.leb.eei.uni-erlangen.de/lehrstuhl/jahresberichte/index.php

Head
Prof. Dr.-Ing. habil. Jörg Schulze

Secretary
Annette Göhler
Andrea Merkel

Scientific Coworkers
Jan Dick, M. Sc.
Dr.-Ing. Tobias Dirnecker, Akad. ORat
Jack Elia, M. Sc.
Birk Fritsch, M. Sc.
Maximilian Hollendonner, M. Sc.
Fedor Hrunski, M. Sc.
Anne-Marie Lang, M. Sc.
Julius Marhenke, M. Sc.
Michael Niebauer, M. Sc.
Andre Pointner, M. Sc.
Dr. rer. nat. Shawn Sanctis
Daniel Scheller, M. Sc.
Dr.-Ing. Saskia Schimmel
Jannik Schwarberg, M. Sc.
Julian Schwarz, M. Sc.
Dawei Zhao, M. Sc.

Older research projects

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