Mikrostrukturierte Komponenten für HF Systeme (RFMEMS)5 ECTS
(englische Bezeichnung: Microstructured Components for RF Systems)
(Prüfungsordnungsmodul: Mikrostrukturierte Komponenten für HF Systeme)

Lectures:

• • Mikrostrukturierte Komponenten für HF Systeme
    (Vorlesung, 2 SWS, Vikrant Chauhan, 14:15 - 15:45; https://fau.zoom.us/j/3501969394?pwd=WEZvVnN2WUFDSS9mQi93SDJ1a0NNQT09; Preliminary meeting: 20.4.2021, 14:15 - 15:45 Uhr, Zoom-Meeting)
  • Übungen zu Mikrostrukturierte Komponenten für HF Systeme
    (Übung, 2 SWS, Vikrant Chauhan, https://fau.zoom.us/j/3501969394?pwd=WEZvVnN2WUFDSS9mQi93SDJ1a0NNQT09)

Empfohlene Voraussetzungen:

Basics in Field theory and wave propagation, circuit design, material sciences, mechanics and mathematics.

Inhalt:

• Overview over three-dimensional structured RF components including microelectromechanical systems (RF MEMS), mechanical resonators, acoustic devices and metamaterials

• technology (Silicon micromaching, LTCC...),

• functionality (electrical, mechanical, acoustic principles),

• applications (phase shifter, filters, antennas, systems....)

• packaging (wafer level, packages, connections...)

• calculation of electromagnetic and multiphysical properties

• basics in design and mask layout.

Lernziele und Kompetenzen:

To understand, design and model novel 3D structured components for RF systems. Considering of technological problems and packaging issues in design and layout.

Literatur:

• G. Rebeiz, RF MEMS, Wiley, 2003

• Varadan, V., RF MEMS and their applications, Wiley,2003

• M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 2002

• C. Caloz, T. Itoh, Electromagnetic Metamaterials, Wiley 2006

Studien-/Prüfungsleistungen:

Mikrostrukturierte Komponenten für HF Systeme_ (Prüfungsnummer: 68601)

(englischer Titel: Microstructured Components for RF Systems)

Prüfungsleistung, mündliche Prüfung, Dauer (in Minuten): 30, benotet, 5 ECTS

Anteil an der Berechnung der Modulnote: 100.0 %

Erstablegung: SS 2021, 1. Wdh.: WS 2021/2022

1. Prüfer:

Georg Fischer