Ausgewählte Kapitel der Silicium-Halbleitertechnologie2.5 ECTS

Lehrveranstaltungen:

• • Ausgewählte Kapitel der Silicium-Halbleitertechnologie
    (Seminar, 2 SWS, Christina Grandrath et al., Di, 14:00 - 15:30, 0.111; Fr, 13:00 - 15:00, 0.111; Vorbesprechung: 3.5.2011, 14:00 - 15:30 Uhr, 0.111)

Inhalt:

Ziel des Seminars ist die selbstständige Erarbeitung und schlüssige Darstellung eines Themas aus dem Gebiet der Silicium-Halbleitertechnologie. Als Grundlage dienen dabei Literaturvorgaben der Betreuer, die durch eigene Recherchen ergänzt werden sollen. Die Teilnehmer referieren im Rahmen eines 45-minütigen Vortrags über ihre Ergebnisse. Die Einzelthemen werden in jedem Semester aus einem anderen Schwerpunkt gewählt. In den letzten Semestern wurden beispielsweise Schwerpunktthemen wie "Bauelementetechnologien", "Mikrosystemtechnik", "Kontamination in der Halbleiterelektronik" oder "Bauelemente-, Prozess- und Anlagensimulation" behandelt.

Literatur:

• Frey, L. und Ryssel, H.: Folien der Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und Prozessintegration und Bauelementearchitekturen (am Lehrstuhl erhältlich)

Weitere Informationen:

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
Das Modul ist im Kontext der folgenden Studienfächer/Vertiefungsrichtungen verwendbar:

1. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2007 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Mikroelektronik | Hauptseminare Mikroelektronik | Hauptseminar Ausgewählte Kapitel der Silicium-Halbleitertechnologie)
2. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2009 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Mikroelektronik | Hauptseminare Mikroelektronik)
3. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
   (Po-Vers. 2010 | Masterprüfung | Studienrichtung Mikroelektronik | Hauptseminare Mikroelektronik)

Studien-/Prüfungsleistungen:

(diese Prüfung gilt nur im Kontext der Studienfächer/Vertiefungsrichtungen [2], [3])

Studienleistung, benotet

Erstablegung: SS 2011, 1. Wdh.: WS 2011/2012, 2. Wdh.: keine Wiederholung

1. Prüfer:

Lothar Frey

(diese Prüfung gilt nur im Kontext der Studienfächer/Vertiefungsrichtungen [1])

Studienleistung, benotet

Erstablegung: SS 2011, 1. Wdh.: WS 2011/2012

1. Prüfer:

Lothar Frey