Halbleiter- und Bauelementemesstechnik5 ECTS

Lehrveranstaltungen:

• • Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
    (Vorlesung, 3 SWS, Lothar Frey, Fr, 12:30 - 14:45, Hans-Georg-Waeber-Saal; Einzeltermine am 13.5.2011, 20.5.2011, 12:30 - 14:45, 0.111)
  • Übung zu Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
    (Übung, 1 SWS, Tobias Erlbacher et al., Fr, 15:00 - 15:45, Hans-Georg-Waeber-Saal; Einzeltermine am 13.5.2011, 20.5.2011, 15:00 - 15:45, 0.111; Termin der Übung ist vorläufig und wird in der ersten Semesterwoche in Absprache mit den Studenten festgelegt.)

Inhalt:

In der Vorlesung Halbleiter- und Bauelementemesstechnik werden die wichtigsten Messverfahren, die zur Charakterisierung von Halbleitern und von Halbleiterbauelementen benötigt werden, behandelt. Zunächst wird die Messtechnik zur Charakterisierung von Widerständen, Dioden, Bipolartransistoren, MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren behandelt. Dabei werden die physikalischen Grundlagen der jeweiligen Bauelemente kurz wiederholt. Im Bereich Halbleitermesstechnik bildet die Messung von Dotierungs- und Fremdatomkonzentrationen sowie die Messung geometrischer Dimensionen (Schichtdicken, Linienbreiten) den Schwerpunkt.

Literatur:

Vorlesungsskript

Weitere Informationen:

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
Das Modul ist im Kontext der folgenden Studienfächer/Vertiefungsrichtungen verwendbar:

1. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2007 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Mikroelektronik | Vertiefungsmodule Mikroelektronik | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
2. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2009 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Mikroelektronik | Vertiefungsmodule Mikroelektronik | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
3. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
   (Po-Vers. 2010 | Masterprüfung | Studienrichtung Mikroelektronik | Vertiefungsmodule Mikroelektronik | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
4. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
   (Po-Vers. 2010 | Masterprüfung | Wahlmodule | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
5. Mechatronik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2007 | Wahlpflicht- und Wahlmodule | Wahlpflichtmodule | Katalog | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
6. Mechatronik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2009 | Wahlpflicht- und Wahlmodule | Wahlpflichtmodule | Katalog | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
7. Mechatronik (Master of Science)
   (Po-Vers. 2010 | Wahlpflichtmodule | Katalog | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
8. Mechatronik (Master of Science)
   (Po-Vers. 2010 | Vertiefungsrichtungen | Elektronische Bauelemente und deren Zuverlässigkeit | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)

Studien-/Prüfungsleistungen:

schriftlich, Dauer (in Minuten): 90, benotet

weitere Erläuterungen:
bei geringer Teilnehmerzahl mündliche 30-minutige Prüfung

Erstablegung: SS 2011, 1. Wdh.: WS 2011/2012, 2. Wdh.: keine Wiederholung

1. Prüfer:

Lothar Frey