Prozess- und Bauelemente-Simulation (ProBaSim)2.5 ECTS
(englische Bezeichnung: Process and Device Simulation)
(Prüfungsordnungsmodul: Prozess- und Bauelemente-Simulation)

Lehrveranstaltungen:

• • Prozess- und Bauelemente-Simulation
    (Vorlesung, 2 SWS, Jürgen Lorenz, Do, 16:00 - 17:30; Terminänderung ggf. in Absprache möglich)
  • Übungen zu Prozess- und Bauelemente-Simulation (optional)
    (Übung, 2 SWS, Jürgen Lorenz)

Empfohlene Voraussetzungen:

Ein voriger Besuch der Vorlesung Technologie Integrierter Schaltungen ist für das bessere Verständnis empfehlenswert

Es wird empfohlen, folgende Module zu absolvieren, bevor dieses Modul belegt wird:

Technologie integrierter Schaltungen (WS 2020/2021)

Inhalt:

In der Halbleitertechnologie wird eine Vielzahl von Prozessschritten zur Herstellung der Bauelemente verwendet. Aufgabe der Prozesssimulation ist die Voraussage vor allem der Geometrien und Dotierungsverteilungen dieser Bauele-mente, woraus dann mithilfe der Bauelementesimulation die elektrischen Eigenschaften abgeleitet werden können. Insgesamt dient die Simulation dem besseren Verständnis der Prozesse und Bauelemente sowie der Reduktion der Entwicklungszeiten und –kosten.
In diesem Modul werden die zur Beschreibung der einzelnen Prozessschritte verwendeten physikalischen Modelle dargestellt, wobei sowohl auf die historische Entwicklung als auch auf den aktuellsten Stand der Forschung eingegangen wird. Zur Auswertung dieser Modelle in ein- und mehrdimensionalen Simulationsprogrammen benötigte Algorithmen werden zusammengefasst. Anhand von Anwendungsbeispielen werden spezielle technologische Effekte und ihre simulationsmäßige Beschreibung diskutiert. Des weiteren werden die Grundlagen der Bauelementesimulation dargestellt. Das Modul schließt mit einer Bestandsaufnahme der in der Industrie verbreitetsten Prozesssimulationsprogramme sowie einem Ausblick auf die weitere Entwicklung des Gebiets sowie seiner Anwendungen.

Lernziele und Kompetenzen:

Die Studierenden

Verstehen

interpretieren die Bauelementesimulation als Verfahren zur „Ausmessung“ der hergestellten Bauelemente

Anwenden

verstehen grundlegende Methoden der Prozess- und Gerätesimulation (Modelle, Algorithmen, Anwendung)

Analysieren

analysieren anhand der Prozess- und Bauelementesimulation die Bedeutung und Anwendung der Simulation in den Ingenieurwissenschaften im Allgemeinen

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:

1. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2019w | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Gesamtkonto | Wahlfächer | Technische Wahlfächer (aus dem Angebot der Technischen Fakultät frei wählbar) | Prozess- und Bauelemente-Simulation)

Studien-/Prüfungsleistungen:

Prozess- und Bauelemente-Simulation (Prüfungsnummer: 49641)

Prüfungsleistung, mündliche Prüfung, Dauer (in Minuten): 30, benotet, 2.5 ECTS

Anteil an der Berechnung der Modulnote: 100.0 %

Erstablegung: SS 2021, 1. Wdh.: WS 2021/2022 (nur für Wiederholer), 2. Wdh.: keine Wiederholung

1. Prüfer:

Jürgen Lorenz