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Halbleitertechnologie II - Prozess- und Bauelemente-Simulation (HLT II - SimP&B-V)- Dozent/in
- Dr.-Ing. Jürgen Lorenz
- Angaben
- Vorlesung
2 SWS, benoteter Schein, ECTS-Studium, ECTS-Credits: 2,5
nur Fachstudium, Sprache Deutsch
Zeit und Ort: Mi 16:00 - 17:30, 0.111 (außer Mi 11.5.2022, Mi 25.5.2022); Einzeltermine am 20.5.2022, 27.5.2022 14:00 - 16:00, 0.111; Bemerkung zu Zeit und Ort: Terminänderung ggf. in Absprache möglich
- Studienfächer / Studienrichtungen
- WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA-MIK ab 1
WF EEI-MA ab 1
- Voraussetzungen / Organisatorisches
- Die Vorlesung ist Teil des Zyklus Halbleitertechnologie des LEB und auf diesen abgestimmt. Der vorige Besuch der Vor-lesung Halbleitertechnologie I wird empfohlen.
- Inhalt
- In der Halbleitertechnologie wird eine Vielzahl von Prozessschritten zur Herstellung der Bauelemente verwendet. Aufgabe der Prozesssimulation ist die Voraussage vor allem der Geometrien und Dotierungsverteilungen dieser Bauelemente, woraus dann mithilfe der Bauelementesimulation die elektrischen Eigenschaften abgeleitet werden können. Insgesamt dient die Simulation dem besseren Verständnis der Prozesse und Bauelemente sowie der Reduktion der Entwicklungszeiten und -kosten.
In dieser Vorlesung werden die zur Beschreibung der einzelnen Prozessschritte verwendeten physikalischen Modelle dargestellt, wobei sowohl auf die historische Entwicklung als auch auf den aktuellsten Stand der Forschung eingegangen wird. Zur Auswertung dieser Modelle in ein- und mehrdimensionalen Simulationsprogrammen benötigte Algorithmen werden zusammengefasst. Anhand von Anwendungsbeispielen werden spezielle technologische Effekte und ihre simulationsmäßige Beschreibung diskutiert. Des Weiteren werden die Grundlagen der Bauelementesimulation dargestellt. Hierbei wird sowohl auf die gängigen Verfahren zur Simulation des Ladungsträgertransports sowie auf die wichtigsten Modelle für die grundlegenden Halbleitereigenschaften eingegangen. Die Vorlesung schließt mit einer Bestandsaufnahme der in der Industrie verbreitetsten Simulationsprogramme sowie einem Ausblick auf die weitere Entwicklung des Gebiets sowie seiner Anwendungen.
- ECTS-Informationen:
- Title:
- Process and Device Simulation
- Credits: 2,5
- Zusätzliche Informationen
- Schlagwörter: Halbleitertechnologie Bauelemente Simulation
Erwartete Teilnehmerzahl: 10
- Zugeordnete Lehrveranstaltungen
- UE ([hybrid]):Übungen zu Halbleitertechnologie II - Prozess- und Bauelemente-Simulation
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Dozent/in: Dr.-Ing. Jürgen Lorenz
Zeit und Ort: Mi 17:30 - 18:15, 0.111 (außer Mi 11.5.2022, Mi 25.5.2022)
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester SS 2022:
- Halbleitertechnologie II - Prozess- und Bauelemente-Simulation (HLT II - ProBaSim)
- Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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