| Design und Herstellung von computergenerierten Hologrammen zur Erzeugung asphärischer Aufnahmewellen für große interferometrisch hergestellte Hologramme zur Sphären und Asphärenprüfung, MEDEA FKZ 01 M 2979 A Für die Lithographieoptik werden in zunehmendem Maße hochgenaue Sphären und Asphären benötigt. Dabei ist insbesondere die Prüfung von Asphären mit interferometrischen Verfahren erforderlich. Als Nulllinsen stehen aber nur refraktive Systeme bzw. computergenerierte Hologramme zur Verfügung. Die Qualität der Hologramme ist jedoch ein begrenzender Faktor. Deshalb wurde im Projekt ein Verfahren entwickelt, mit dem ein Quasi-Absoluttest von Asphären möglich wird. Dadurch werden sowohl die Fehler der Komponenten des Interferometers als auch Strukturierungsfehler der Hologramme eliminiert. Es wurden Simulationen mit dem Raytrace-Programm der Arbeitsgruppe durchgeführt. Ebenso wurden CGH Strukturen berechnet und CGH´s
hergestellt, die beim Auftraggeber interferometrisch getestet wurden. | Projektleitung:
apl. Prof. Dr. Johannes Schwider
Beteiligte:
apl. Prof. Dr. Norbert Lindlein, Dr. Mathias Beyerlein
Laufzeit: 1.1.1999 - 1.3.2000
Mitwirkende Institutionen:
CZ Oberkochen im BMBF-Medea-Verbund
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