Übung zu Optical Lithography- Lecturer
- PD Dr. rer. nat. Andreas Erdmann
- Details
- Übung
Online
2 cred.h, Sprache Deutsch, Für Master AOT verpflichtende Zusatzveranstaltung, für andere Studiengänge freiwillig
Zeit: Fri 16:15 - 17:45; n.V.
- Fields of study
- WF AOT-GL ab 1
PF NT-MA 1
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1
- Additional information
- Expected participants: 1
- Assigned to: Optical Lithography: Technology, Physical Effects, and Modelling
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester WS 2021/2022:
- Kernfach Mikro- und Nanostrukturforschung für MWT (MNF_M1_MWT)
- Optical Lithography (OLITHO)
- Top-Down Nanostrukturierung (Nano_Top_Down)
- Department: Chair of Electron Devices
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