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Reinraumpraktikum (RR-Prak)5 ECTS
(Prüfungsordnungsmodul: Reinraum-Praktikum)

Modulverantwortliche/r: Tobias Dirnecker
Lehrende: Tobias Dirnecker, u.a.

Start semester: WS 2014/2015Duration: 1 semesterCycle: halbjährlich (WS+SS)
Präsenzzeit: 60 Std.Eigenstudium: 90 Std.Language: Deutsch

Lectures:

Inhalt:

Im Rahmen des Praktikums erarbeiten sich die Studenten in kleinen Gruppen grundlegende Kenntnisse über die Herstellungsschritte von mikro- und nanoelektronischen Bauelementen. Darauf aufbauend werden im Reinraum des Lehrstuhls Technologieschritte zur Herstellung einfacher elektronische Bauelemente vorgestellt. Der Schwerpunkt der praktischen Versuche liegt dabei im Bereich der Herstellung dünner Schichten sowie der Strukturübertragung mittels Photolithographie. Dabei lernen die Studenten die Arbeitsbedingungen bei höchsten Reinheitsanforderungen kennen. Außerdem werden einfache Bauelemente elektrisch charakterisiert und die Messungen ausgewertet. Die Ergebnisse der elektrischen Messungen werden mit simulierten Kennlinien der Bauelemente verglichen.

Lernziele und Kompetenzen:

Die Studierenden

Fachkompetenz
Verstehen
  • erklären die Anforderungen an die Arbeitsbedingungen im Reinraum für die Herstellung von mikro- und nanoelektronischen Bauelementen
Anwenden
  • beschreiben die Zusammenhänge zwischen den Prozessbedingungen und den Eigenschaften elektronischer Bauelemente
Lern- bzw. Methodenkompetenz
  • lernen die Arbeitsbedingungen im Reinraum bei der Herstellung von mikro- und nanoelektronischen Bauelementen kennen

  • erwerben praktische Erfahrungen im Umgang mit verschiedenen Herstellungs-, Strukturierungs- und Charakterisierungsmethoden dünner Schichten

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:

  1. Nanotechnologie (Bachelor of Science): 5. Semester
    (Po-Vers. 2008 | weitere Module der Bachelorprüfung | Reinraum-Praktikum)

Studien-/Prüfungsleistungen:

Reinraumpraktikum (Prüfungsnummer: 44201)
Prüfungsleistung, Praktikumsleistung, unbenotet
weitere Erläuterungen:
Vorbereitung auf jeden Versuch Teilnahme an allen Versuchen Anfertigung von Versuchsprotokollen Teilnahme am Abschlusstesttat und Bestehen des Abschlusstesttats

Erstablegung: WS 2014/2015, 1. Wdh.: WS 2015/2016, 2. Wdh.: keine Wiederholung
1. Prüfer: Tobias Dirnecker

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