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Halbleiter- und Bauelementemesstechnik (HBMT-V)- Lecturers
- Matthäus Albrecht, M. Sc., Julius Marhenke, M. Sc.
- Details
- Vorlesung
3 cred.h, benoteter certificate, ECTS studies, ECTS credits: 5
nur Fachstudium, Sprache Deutsch, Die Übung ist in die Vorlesungseinheiten integriert.
Time and place: Tue 14:15 - 17:45, Hans-Georg-Waeber-Saal; n.V.; comments on time and place: Erster Termin am 10.04. voraussichtlich bis 16:00 Uhr
- Fields of study
- WPF WW-DH-MIC ab 6
WPF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WPF ME-DH-VF11 ab 6 (ECTS-Credits: 4,5)
WPF ME-BA-MG4 5-6
WPF ME-MA-MG4 1-3
WPF MWT-MA-MIC ab 1
WF MWT-BA 5-6
WPF NT-MA ab 1
WPF BPT-MA-E 1-3
- Contents
- In der Vorlesung Halbleiter- und Bauelementemesstechnik werden die wichtigsten Messverfahren, die zur Charakterisierung von Halbleitern und von Halbleiterbauelementen benötigt werden, behandelt. Zunächst wird die Messtechnik zur Charakterisierung von Widerständen, Dioden, Bipolartransistoren, MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren behandelt. Dabei werden die physikalischen Grundlagen der jeweiligen Bauelemente kurz wiederholt. Im Bereich Halbleitermesstechnik bildet die Messung von Dotierungs- und Fremdatomkonzentrationen sowie die Messung geometrischer Dimensionen (Schichtdicken, Linienbreiten) den Schwerpunkt.
- Recommended literature
- Vorlesungsskript
- ECTS information:
- Title:
- Semiconductor and Device Measurement Techniques
- Credits: 5
- Prerequisites
- none
- Contents
- The lecture Semiconductor and Device Measurement Techniques deals with the fundamental methods used to characterize
semiconductors and semiconductor devices. First, the measurement techniques needed to characterize resistors, diodes,
bipolar transistors, MOS capacitors, and MOS transistors are presented. The fundamental properties of each device are
repeated briefly. In the area of semiconductor metrology, measurement of dopand distributions, contaminant analysis, and
measurement of geometric dimensions (film thickness, line width) are emphasized.
- Literature
- Ryssel, H.: Halbleiter- und Bauelementemeßtechnik, lecture script (available at Chair of Electron Devices / available in course)
- Additional information
- Keywords: Halbleiterbauelemente, Messtechnik
Expected participants: 40
- Assigned lectures
- UE: Übung zu Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
-
Lecturers: Julius Marhenke, M. Sc., Matthäus Albrecht, M. Sc.
Time and place: n.V.; comments on time and place: Termin der Übung ist vorläufig und wird in der ersten Semesterwoche in Absprache mit den Studenten festgelegt.
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester SS 2018:
- Halbleiter- und Bauelementemesstechnik (HBEL_MESS)
- Department: Chair of Electron Devices (Prof. Dr. Frey)
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