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Modulverantwortliche/r: Thorsten Albach
Lehrende:
Thorsten Albach, Alexander Sutor
| Start semester: |
WS 2012/2013 | Duration: |
1 semester |
| Präsenzzeit: |
60 Std. | Eigenstudium: |
90 Std. | Language: |
Deutsch |
Lectures:
Inhalt:
Lernziel:
In diesem Praktikum sollen von Studierenden selbst die zur Herstellung piezoresistiver Sensoren notwendigen Technologieschritte anhand von praktischen Testmustern im Labor durchgeführt werden. Zur Definition von planarer Geometrie und Schichtenaufbau werden zunächst Photolitographie und Maskentechnik eingesetzt. Bei den Prozessen handelt es sich im wesentlichen um die Dünnschichttechnologie (Aufdampfen und Sputtern) zur Herstellung von metallischen Schichten sowie um die thermische Oxidation von Silizium und seine Dotierung mit Fremdatomen. Die Funktionstauglichkeit der Sensoren soll abschließend im Messlabor überprüft werden.
Bemerkung:
das Praktikum findet im Raum 00.025, Konrad-Zuse-Str. 7 statt
Weitere Informationen:
Keywords: Sensortechnologie; Piezoresisitive Sensoren; Photolithographie; Dünnschichttechnik; thermische Oxidation von Silizium; Diffusion; Test von Sensoren zwecks Spezifikationsüberprüfung
Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science): 1-4. Semester
(Po-Vers. 2010 | Studienrichtung Automatisierungstechnik | Laborpraktika Automatisierungstechnik)
Dieses Modul ist daneben auch in den Studienfächern "Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)" verwendbar. Details
Studien-/Prüfungsleistungen:
Laborpraktikum Sensor-Technologie_ (Prüfungsnummer: 77001)- Prüfungsleistung, Studienleistung, unbenotet
- Erstablegung: WS 2012/2013, 1. Wdh.: SS 2013, 2. Wdh.: keine Wiederholung
| 1. Prüfer: | Reinhard Lerch |
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