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Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente- Lecturers
- Dr.-Ing. Tobias Dirnecker, Assistenten
- Details
- Praktikum
3 cred.h, certificate, ECTS studies, ECTS credits: 2,5
nur Fachstudium, Sprache Deutsch, Vorlesung Technologie integrierter Schaltungen vorausgesetzt
Time and place: Wed 8:30 - 12:30, BR 1.161; Wed 8:30 - 10:00, 0.111; comments on time and place: Praktikum wird am Mittwoch Vormittag angeboten. Wichtig: Teilnahme an Vorbesprechung am 15.10.2012 um 15:00 Uhr im Hans-Georg-Waeber-Saal! ANMELDUNG über StudON
Preliminary meeting: 15.10.2012, 15:00 - 16:00 Uhr, room Hans-Georg-Waeber-Saal
- Fields of study
- WPF ME-DH-PEEI 5-10
WPF EEI-BA-MIK ab 5
WPF EEI-MA-MIK ab 1
WPF EEI-MA-LE ab 1
WPF EEI-BA-LE ab 5
WPF ME-MA-P 1-3
- Contents
- Das Praktikum zur Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente vermittelt einen ersten praktischen Einstieg in die
Halbleitertechnologie. Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer Solarzelle werden die Herstellungsschritte Oxidation,
Implantation, Lithographie, Ätzen und Metallisierung durchgeführt. Darüber hinaus werden wichtige Meßverfahren zur
Prozeßkontrolle wie Schichtdickenmeßverfahren, Schichtwiderstandsmeßverfahren vorgestellt und zum Schluß die
hergestellten Solarzellen an Hand ihrer Strom/Spannungs-Kennlinie elektrisch charakterisiert (Wirkungsgrad etc.).
- Recommended literature
- Frey, L., Technologie integrierter Schaltungen, Folien zur Vorlesung Technologie integrierter Schaltungen
Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994
- ECTS information:
- Title:
- Laboratory on Silicon Semiconductor Processing
- Credits: 2,5
- Prerequisites
- Prerequisite lecture:
Technology of Silicon Semiconductor Devices, Part 1 and/or 2
- Contents
- The practical lab course in silicon semiconductor technology offers first insights into the practice of semiconductor technology.
In the course of the fabrication of a solar cell, the process steps of oxidation, implantation, lithography, etching, and
metallization are performed. Furthermore, important measurement techniques such as film thickness measurement and sheet
resistivity measurement techniques are presented. Finally, the manufactured solar cells are electrically characterized (efficiency
etc.)
- Literature
- Silicon Semiconductor Technology / Practical Term, lecture script (available at Chair of Electron Devices / available in course)
Frey, L.: Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente I and II, lecture script, (available at Chair of Electron Devices)
Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994
- Additional information
- Expected participants: 8
www: http://www.leb.eei.uni-erlangen.de/
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester WS 2012/2013:
- Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente (TESIPRAK)
- Department: Chair of Electron Devices (Prof. Dr. Frey)
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