Übung zu Optical Lithography
- Dozent/in
- PD Dr. rer. nat. Andreas Erdmann
- Angaben
- Übung
2 SWS, Sprache Deutsch, Für Master AOT verpflichtende Zusatzveranstaltung, für andere Studiengänge freiwillig
Zeit und Ort: Mi 9:00 - 10:30, AOT-Bibliothek
- Studienfächer / Studienrichtungen
- WF AOT-GL ab 1
- Zusätzliche Informationen
- Erwartete Teilnehmerzahl: 10
www: http://www.leb.eei.uni-erlangen.de
- Zugeordnet zu: Optical Lithography: Technology, Physical Effects, and Modelling
- Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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