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Übung zu Optical Lithography

Dozent/in
PD Dr. rer. nat. Andreas Erdmann

Angaben
Übung
2 SWS, Sprache Deutsch, Für Master AOT verpflichtende Zusatzveranstaltung, für andere Studiengänge freiwillig
Zeit und Ort: Mi 9:00 - 10:30, AOT-Bibliothek

Studienfächer / Studienrichtungen
WF AOT-GL ab 1

Zusätzliche Informationen
Erwartete Teilnehmerzahl: 10
www: http://www.leb.eei.uni-erlangen.de

Zugeordnet zu: Optical Lithography: Technology, Physical Effects, and Modelling

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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