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Modulverantwortliche/r: Lothar Frey
Lehrende:
Lothar Frey, Michael Schmidt
| Start semester: |
WS 2012/2013 | Duration: |
1 semester |
| Präsenzzeit: |
30 Std. | Eigenstudium: |
45 Std. | Language: |
Deutsch |
Lectures:
Es werden 2 Einheiten der Vorlesung durch den Lehrstuhl für Photonische Technologien gehalten.
Inhalt:
Die Vorlesung „Produktion in der Siliciumtechnologie“ (früher PRIDE 1) behandelt die für die Elektronikproduktion notwendigen Prozesse und Materialien entlang der gesamten reinraumnahen Prozesskette. Dabei wird auf die Bauelementetechnologie und die Prozessschritte zur Fertigung elektronischer Schaltkreise sowie auf die Laserstrahlverfahren Justieren und Trennen/Bohren eingegangen.
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
lernen die gängigen Fertigungsschritte für mikro- und nanoelektronische Bauelemente kennen und sind in der Lage, die spezifischen Anforderungen an die Prozessgeräte und die Herstellungsbedingungen für integrierte Schaltungen im Reinraum zu beurteilen. lernen die in der Elektronikproduktion eingesetzten lasergestützten Fertigungstechnologien Justieren und Trennen/Bohren detailliert kennen und sind in der Lage mit den vermittelten Kenntnissen Konzepte für den Aufbau einer lasergestützten Fertigung von Elektronikkomponenten zu entwickeln.
Literatur:
Skript zur Vorlesung
Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
- Mechatronik (Master of Science): 1-3. Semester
(Po-Vers. 2012 | Masterprüfung | M1-M2 Vertiefungsrichtungen | 10 Fertigungsautomatisierung und Kunststofftechnik)
Dieses Modul ist daneben auch in den Studienfächern "Mechatronik (Bachelor of Science)" verwendbar. Details
Studien-/Prüfungsleistungen:
Produktion in der Siliciumtechnologie_- schriftlich oder mündlich, Dauer (in Minuten): 45, benotet
- weitere Erläuterungen:
Prüfungsform nach Anmeldungszahl, 30min Prüfung bei mdl. Prüfung
- Erstablegung: WS 2012/2013, 1. Wdh.: SS 2013, 2. Wdh.: keine Wiederholung
| 1. Prüfer: | Michael Schmidt |
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