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Moderne Beschichtungstechnologien, Vorlesung (V MBT)
- Dozent/in
- Prof. Dr.-Ing. Dipl.-Kfm. Bastian Etzold
- Angaben
- Vorlesung
2 SWS, ECTS-Studium, ECTS-Credits: 5,0, Sprache Deutsch, Unterrichtssprache Deutsch und Englisch im jährlichen Wechsel: WS 12/13: english; WS 13/14: deutsch
Zeit und Ort: Di 08:15 - 09:45, T 0.75
- Studienfächer / Studienrichtungen
- WPF CBI-MA 1-3
WPF ET-MA-VTE 1-3
- Inhalt
- MODERNE BESCHICHTUNGSTECHNOLOGIEN
Anwendung in Chemie-Ingenieurwesen und Werkstoffwissenschaften
WS 2003 / 2004
1. Klassifizierung der Beschichtungsprozesse.
Vergleich und Anwendung der einzelnen Beschichtungstechniken
1.1 Flüssigphasenprozesse
Sol-Gel Verfahren
Flüssigimprägnierung
Elektrophorese
1.2 Elektrolytische Prozesse
1.3 Spezielle Techniken
1.4 Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Sputtern
Verdampfen
Ion plating
Ion implantation
Molecular beam epitaxy
1.5 Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
2. Vorbehandlung der Substrate vor der Beschichtung
3. Grundlagen der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD)
3.1 Precursoren und Reaktionen
Halogenide
Metallkarbonyle
Metallorganische Verbindungen
Hydride
3.2 Thermodynamik der CVD. Computerprogramme
3.3 Strömungsvorgänge im CVD-Reaktor. Kinetik und Stofftransportmechanismus. Geschwindigkeitslimitierende Schritte. Sirius-Programm
3.4 Wachstumsmechanismus und Struktur der Schichten
3.5 Simulation des CVD-Prozesses über Computer-Programme (Fluent, SiaMod, Fasttest, Phoenix-CVD) 4. Chemische Gasphaseninfiltration (CVI).
4.1 Isotherme CVI
4.2 CVI mit thermischem und Druck-Gradient. Puls-CVI
4.3 Beschichtung von Fasern 5 Methoden zur Charakterisierung dünner Schichten
- ECTS-Informationen:
- Credits: 5,0
- Zusätzliche Informationen
- Erwartete Teilnehmerzahl: 10, Maximale Teilnehmerzahl: 15
- Zugeordnete Lehrveranstaltungen
- PR: Moderne Beschichtungstechnologien, Praktikum
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Dozentinnen/Dozenten: Prof. Dr.-Ing. Dipl.-Kfm. Bastian Etzold, N.N.
Zeit und Ort: n.V.; Bemerkung zu Zeit und Ort: Zeit und Ort nach Vereinbarung
- UE: Moderne Beschichtungstechnologien, Übung
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Dozentinnen/Dozenten: Prof. Dr.-Ing. Dipl.-Kfm. Bastian Etzold, N.N.
Zeit und Ort: Do 8:15 - 9:45, 0.151-115; Bemerkung zu Zeit und Ort: n. Vereinbarung
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester WS 2013/2014:
- Moderne Beschichtungstechnologien mit Praktikum (V MBT)
- Moderne Beschichtungstechnologien, 5 ECTS (V MBT)
- Institution: Lehrstuhl für Chemische Reaktionstechnik (CRT)
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