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Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)2.5 ECTS (englische Bezeichnung: Sensor technology Laboratiry)
(Prüfungsordnungsmodul: Laborpraktika Automatisierungstechnik)
Modulverantwortliche/r: Alexander Sutor Lehrende:
Alexander Sutor, Dominik Gedeon
Startsemester: |
WS 2014/2015 | Dauer: |
1 Semester | Turnus: |
jährlich (WS) |
Präsenzzeit: |
30 Std. | Eigenstudium: |
45 Std. | Sprache: |
Deutsch |
Lehrveranstaltungen:
Inhalt:
- Kraftsensor auf Basis des piezoresistiven Effekts
Berechnung von Sensorparametern mit MATLAB
Maskenlayout
Maskentechnik/Photolithographie
Nasschemisches Ätzen
Schichtdickenbestimmung
Topologiemessung
Leitungstypbestimmung
Diffusion/Oxidation/Dotierung
Sensorcharakterisierung
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
Erarbeiten sich im Zuge der Vorbereitung die nötigen Fachkenntnisse für den jeweiligen Versuch
Erläutern die verwendeten Verfahren anhand von Vorbereitungsfragen
Wenden ihr Wissen auf die Auslegung eines Sensors an
Erarbeiten in der Gruppe geeignete Lösungsansätze für gestellte Messaufgaben und evaluieren diese anhand der gewonnenen Daten
Hinterfragen und evaluieren die vorgestellten Mess- und Herstellungsverfahren
Überprüfen und beurteilen die Funktionsfähigkeit des hergestellten piezoresistiven Sensors
Bemerkung:
das Praktikum findet im Raum 00.025, Konrad-Zuse-Str. 7 statt
Weitere Informationen:
Schlüsselwörter: Sensortechnologie; Piezoresisitive Sensoren; Photolithographie; Dünnschichttechnik; thermische Oxidation von Silizium; Diffusion; Test von Sensoren zwecks Spezifikationsüberprüfung
Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science): 5-6. Semester
(Po-Vers. 2009 | Studienrichtungen | Studienrichtung Automatisierungstechnik | Laborpraktika Automatisierungstechnik)
Dieses Modul ist daneben auch in den Studienfächern "Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)" verwendbar. Details
Studien-/Prüfungsleistungen:
Laborpraktikum Sensor-Technologie_ (Prüfungsnummer: 77001)
- Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet
- Erstablegung: WS 2014/2015, 1. Wdh.: SS 2015, 2. Wdh.: keine Wiederholung
1. Prüfer: | Reinhard Lerch |
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