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Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)2.5 ECTS
(englische Bezeichnung: Sensor technology Laboratory)
(Prüfungsordnungsmodul: Laborpraktikum Sensor-Technologie)
Modulverantwortliche/r: Stefan J. Rupitsch
Lehrende:
Florian Hubert
| Start semester: |
WS 2020/2021 | Duration: |
1 semester | Cycle: |
jährlich (WS) |
| Präsenzzeit: |
60 Std. | Eigenstudium: |
15 Std. | Language: |
Deutsch |
Lectures:
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Praktikum Sensor-Technologie
(Praktikum, 4 SWS, Anwesenheitspflicht, Florian Hubert, Wed, 8:00 - 12:00, SR 02.028; *Für diese Lehrveranstaltung ist eine Anmeldung erforderlich. Die Anmeldung erfolgt über StudOn gemäß dem Anmeldeverfahren des Dept. EEI. Nähere Informationen zum Anmeldeverfahren erfahren Sie über das SSC EEI.*)
Inhalt:
- Kraftsensor auf Basis des piezoresistiven Effekts
Berechnung von Sensorparametern mit MATLAB Maskenlayout Maskentechnik/Photolithographie Nasschemisches Ätzen Schichtdickenbestimmung Topologiemessung Leitungstypbestimmung Diffusion/Oxidation/Dotierung Sensorcharakterisierung
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden
Erarbeiten sich im Zuge der Vorbereitung die nötigen Fachkenntnisse für den jeweiligen Versuch Erläutern die verwendeten Verfahren anhand von Vorbereitungsfragen Wenden ihr Wissen auf die Auslegung eines Sensors an Erarbeiten in der Gruppe geeignete Lösungsansätze für gestellte Messaufgaben und evaluieren diese anhand der gewonnenen Daten Hinterfragen und evaluieren die vorgestellten Mess- und Herstellungsverfahren Überprüfen und beurteilen die Funktionsfähigkeit des hergestellten piezoresistiven Sensors
Weitere Informationen:
Keywords: Sensortechnologie; Piezoresisitive Sensoren; Photolithographie; Dünnschichttechnik; thermische Oxidation von Silizium; Diffusion; Test von Sensoren zwecks Spezifikationsüberprüfung
Studien-/Prüfungsleistungen:
Laborpraktikum Sensor-Technologie (Prüfungsnummer: 77001)(englischer Titel: Laboratory course: Sensor Technology)
- Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet, 2.5 ECTS
- weitere Erläuterungen:
häusliche Vorbereitung, Durchführung von Versuchen, Kolloquium
- Erstablegung: WS 2020/2021, 1. Wdh.: SS 2021, 2. Wdh.: keine Wiederholung
| 1. Prüfer: | Stefan J. Rupitsch |
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