UnivIS
Information system of Friedrich-Alexander-University Erlangen-Nuremberg © Config eG 
FAU Logo
  Collection/class schedule    module collection Home  |  Legal Matters  |  Contact  |  Help    
search:      semester:   
 
 Layout
 
printable version

  
 
Module Description Sheet (PDF)

  
 
 Also in UnivIS
 
course list

lecture directory

  
 
events calendar

job offers

furniture and equipment offers

  
 

Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)2.5 ECTS
(englische Bezeichnung: Sensor technology Laboratiry)
(Prüfungsordnungsmodul: Hauptseminar und Laborpraktikum Automatisierungstechnik)

Modulverantwortliche/r: Alexander Sutor
Lehrende: Alexander Sutor, Dominik Gedeon

Start semester: WS 2015/2016Duration: 1 semesterCycle: jährlich (WS)
Präsenzzeit: 30 Std.Eigenstudium: 45 Std.Language: Deutsch

Lectures:

Inhalt:

  • Kraftsensor auf Basis des piezoresistiven Effekts

  • Berechnung von Sensorparametern mit MATLAB

  • Maskenlayout

  • Maskentechnik/Photolithographie

  • Nasschemisches Ätzen

  • Schichtdickenbestimmung

  • Topologiemessung

  • Leitungstypbestimmung

  • Diffusion/Oxidation/Dotierung

  • Sensorcharakterisierung

Lernziele und Kompetenzen:

Die Studierenden

  • Erarbeiten sich im Zuge der Vorbereitung die nötigen Fachkenntnisse für den jeweiligen Versuch

  • Erläutern die verwendeten Verfahren anhand von Vorbereitungsfragen

  • Wenden ihr Wissen auf die Auslegung eines Sensors an

  • Erarbeiten in der Gruppe geeignete Lösungsansätze für gestellte Messaufgaben und evaluieren diese anhand der gewonnenen Daten

  • Hinterfragen und evaluieren die vorgestellten Mess- und Herstellungsverfahren

  • Überprüfen und beurteilen die Funktionsfähigkeit des hergestellten piezoresistiven Sensors

Bemerkung:

das Praktikum findet im Raum 00.025, Konrad-Zuse-Str. 7 statt

Weitere Informationen:

Keywords: Sensortechnologie; Piezoresisitive Sensoren; Photolithographie; Dünnschichttechnik; thermische Oxidation von Silizium; Diffusion; Test von Sensoren zwecks Spezifikationsüberprüfung

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:

  1. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
    (Po-Vers. 2015s | Masterprüfung | Studienrichtung Automatisierungstechnik | Hauptseminar und Laborpraktikum Automatisierungstechnik)
Dieses Modul ist daneben auch in den Studienfächern "Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)" verwendbar. Details

Studien-/Prüfungsleistungen:

Laborpraktikum Sensor-Technologie_ (Prüfungsnummer: 77001)
Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet
weitere Erläuterungen:
häusliche Vorbereitung, Durchfährung von Versuchen, Kolloquium

Erstablegung: WS 2015/2016, 1. Wdh.: SS 2016, 2. Wdh.: keine Wiederholung
1. Prüfer: Reinhard Lerch

UnivIS is a product of Config eG, Buckenhof