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Modulverantwortliche/r: Lothar Frey
Lehrende:
Lothar Frey
Start semester: |
SS 2013 | Duration: |
1 semester |
Präsenzzeit: |
60 Std. | Eigenstudium: |
90 Std. | Language: |
Deutsch |
Lectures:
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Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
(Vorlesung, 3 SWS, Andreas Hürner et al., Fri, 12:15 - 14:30, Hans-Georg-Waeber-Saal; single appointment on 7.6.2013, 12:15 - 14:30, 0.111)
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Übung zu Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
(Übung, 1 SWS, Sebastian Polster et al., Fri, 16:15 - 17:45, Hans-Georg-Waeber-Saal; single appointment on 7.6.2013, 16:15 - 17:45, 0.111; Termin der Übung ist vorläufig und wird in der ersten Semesterwoche in Absprache mit den Studenten festgelegt.)
Empfohlene Voraussetzungen:
Inhalt:
In der Vorlesung Halbleiter- und Bauelementemesstechnik werden die wichtigsten Messverfahren, die zur Charakterisierung von Halbleitern und von Halbleiterbauelementen benötigt werden, behandelt. Zunächst wird die Messtechnik zur Charakterisierung von Widerständen, Dioden, Bipolartransistoren, MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren behandelt. Dabei werden die physikalischen Grundlagen der jeweiligen Bauelemente kurz wiederholt. Im Bereich Halbleitermesstechnik bildet die Messung von Dotierungs- und Fremdatomkonzentrationen sowie die Messung geometrischer Dimensionen (Schichtdicken, Linienbreiten) den Schwerpunkt.
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden können
physikalische und elektrische Halbleiter- und Bauelementemess- und Analysemethoden beschreiben,
die Vor- und Nachteile sowie die Grenzen der verschiedenen Verfahren einordnen,
begründen welches Verfahren für welche Fragestellung geeignet ist,
die mit den unterschiedlichen Verfahren erzielten Messergebnisse vergleichen.
Literatur:
- Vorlesungsskript
Dieter K. Schroder: Semiconductor Material and Devices Characterization, Wiley-IEEE, 2006
W.R. Runyan, T.J. Shaffner: Semiconductor Measurements and Instrumentations, McGraw-Hill, 1998
A.C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, CRC, 2001
Weitere Informationen:
Keywords: Halbleiterbauelemente, Messtechnik
www: http://www.leb.eei.uni-erlangen.de
Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science): 1-4. Semester
(Po-Vers. 2010 | Studienrichtung Mikroelektronik | Vertiefungsmodule Mikroelektronik | Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
Dieses Modul ist daneben auch in den Studienfächern "Berufspädagogik Technik (Master of Education)", "Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)", "Mechatronik (Bachelor of Science)", "Mechatronik (Master of Science)" verwendbar. Details
Studien-/Prüfungsleistungen:
Halbleiter- und Bauelementemesstechnik_ (Prüfungsnummer: 62101)
- Prüfungsleistung, Klausur, Dauer (in Minuten): 90, benotet
- Anteil an der Berechnung der Modulnote: 100.0 %
- weitere Erläuterungen:
bei geringer Teilnehmerzahl mündliche 30-minutige Prüfung
- Erstablegung: SS 2013, 1. Wdh.: WS 2013/2014, 2. Wdh.: keine Wiederholung
- Termin: 04.10.2013, 09:30 Uhr, Ort: LS
Termin: 28.03.2014
Termin: 25.09.2014, 13:00 Uhr, Ort: HA Bio
Termin: 01.04.2015, 10:00 Uhr, Ort: 0.111, Cauerstr. 6, 91058 Erlangen
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