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Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)- Lecturers
- Dr.-Ing. Alexander Sutor, Dipl.-Ing. Dominik Gedeon
- Details
- Praktikum
4 cred.h, certificate, ECTS studies, ECTS credits: 2,5, Sprache Deutsch, das Praktikum findet Di 10:00 - 13:00 Uhr im Raum 00.025, Konrad-Zuse-Str. 7 statt. Anmeldung über StudOn
Time and place: Tue 10:00 - 13:00, SR 02.028
Preliminary meeting: 13.10.2015, 10:00 - 11:00 Uhr, room SR 02.028
- Fields of study
- WPF EEI-BA-AET 5-6
WPF EEI-BA-AUT 5-6
WPF EEI-MA-AET 1-4
WPF EEI-MA-AUT 1-4
WPF ME-DH-PEEI 5-7 (ECTS-Credits: 2,5)
- Contents
- Lernziel:
In diesem Praktikum sollen von Studierenden selbst die zur Herstellung piezoresistiver Sensoren notwendigen Technologieschritte anhand von praktischen Testmustern im Labor durchgeführt werden. Zur Definition von planarer Geometrie und Schichtenaufbau werden zunächst Photolitographie und Maskentechnik eingesetzt. Bei den Prozessen handelt es sich im wesentlichen um die Dünnschichttechnologie (Aufdampfen und Sputtern) zur Herstellung von metallischen Schichten sowie um die thermische Oxidation von Silizium und seine Dotierung mit Fremdatomen. Die Funktionstauglichkeit der Sensoren soll abschließend im Messlabor überprüft werden.
- ECTS information:
- Title:
- Sensor Technology Laboratory
- Credits: 2,5
- Contents
- Learning target:
In this course the students themselves should do the technical steps which are necessary for the fabrication of piezo-resistive sensors. Therefore, they will implement test designs given in the laboratory. Therewith, they will learn about photolithography and mask engineering first. Further process steps are thin film techniques (vacuum metallization and sputtering) to generate metalic as well as the thermal oxidation of silicon and the diffusion of various dopants. Finally, the functionality of the sensors should be checked in the laboratory.
- Additional information
- Keywords: Sensortechnologie; Piezoresisitive Sensoren; Photolithographie; Dünnschichttechnik; thermische Oxidation von Silizium; Diffusion; Test von Sensoren zwecks Spezifikationsüberprüfung
Expected participants: 12, Maximale Teilnehmerzahl: 12
Registration is required for this lecture.
Registration starts on Thursday, 1.10.2015, 09:00 and lasts till Sunday, 11.10.2015, 00:00 über: StudOn.
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester WS 2015/2016:
- Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)
- Department: Chair of Sensor Technology (Prof. Dr. Lerch)
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