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Halbleitertechnologie II - Prozess- und Bauelemente-Simulation (HLT II - SimP&B-V)- Lecturer
- Dr.-Ing. Jürgen Lorenz
- Details
- Vorlesung
2 cred.h, benoteter certificate, ECTS studies, ECTS credits: 2,5
nur Fachstudium, Sprache Deutsch
Time and place: Wed 16:00 - 17:30, 0.111 (außer Wed 11.5.2022, Wed 25.5.2022); single appointment on 20.5.2022, single appointment on 27.5.2022 14:00 - 16:00, 0.111; comments on time and place: Terminänderung ggf. in Absprache möglich
- Fields of study
- WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA-MIK ab 1
WF EEI-MA ab 1
- Prerequisites / Organisational information
- Die Vorlesung ist Teil des Zyklus Halbleitertechnologie des LEB und auf diesen abgestimmt. Der vorige Besuch der Vor-lesung Halbleitertechnologie I wird empfohlen.
- Contents
- In der Halbleitertechnologie wird eine Vielzahl von Prozessschritten zur Herstellung der Bauelemente verwendet. Aufgabe der Prozesssimulation ist die Voraussage vor allem der Geometrien und Dotierungsverteilungen dieser Bauelemente, woraus dann mithilfe der Bauelementesimulation die elektrischen Eigenschaften abgeleitet werden können. Insgesamt dient die Simulation dem besseren Verständnis der Prozesse und Bauelemente sowie der Reduktion der Entwicklungszeiten und -kosten.
In dieser Vorlesung werden die zur Beschreibung der einzelnen Prozessschritte verwendeten physikalischen Modelle dargestellt, wobei sowohl auf die historische Entwicklung als auch auf den aktuellsten Stand der Forschung eingegangen wird. Zur Auswertung dieser Modelle in ein- und mehrdimensionalen Simulationsprogrammen benötigte Algorithmen werden zusammengefasst. Anhand von Anwendungsbeispielen werden spezielle technologische Effekte und ihre simulationsmäßige Beschreibung diskutiert. Des Weiteren werden die Grundlagen der Bauelementesimulation dargestellt. Hierbei wird sowohl auf die gängigen Verfahren zur Simulation des Ladungsträgertransports sowie auf die wichtigsten Modelle für die grundlegenden Halbleitereigenschaften eingegangen. Die Vorlesung schließt mit einer Bestandsaufnahme der in der Industrie verbreitetsten Simulationsprogramme sowie einem Ausblick auf die weitere Entwicklung des Gebiets sowie seiner Anwendungen.
- ECTS information:
- Title:
- Process and Device Simulation
- Credits: 2,5
- Additional information
- Keywords: Halbleitertechnologie Bauelemente Simulation
Expected participants: 10
- Assigned lectures
- UE ([hybrid]):Übungen zu Halbleitertechnologie II - Prozess- und Bauelemente-Simulation
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Lecturer: Dr.-Ing. Jürgen Lorenz
Time and place: Wed 17:30 - 18:15, 0.111 (außer Wed 11.5.2022, Wed 25.5.2022)
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester SS 2022:
- Halbleitertechnologie II - Prozess- und Bauelemente-Simulation (HLT II - ProBaSim)
- Department: Chair of Electron Devices
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