1. Klassifizierung der Beschichtungsprozesse. Vergleich und Anwendung der einzelnen Beschichtungstechniken
1.1 Flüssigphasenprozesse

• Sol-Gel Verfahren

• Flüssigimprägnierung

• Elektrophorese
  

1.2 Elektrolytische Prozesse

• Elektroplating
  

1.3 Spezielle Techniken

• Plasmaspritzen

• Flammspritzen

• Detonation gun technologies (Sprengplatieren)

• Jet vapor deposition processes
  

1.4 Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)

• Sputtern

• Verdampfen

• Ion plating

• Ion implantation

• Molecular beam epitaxy
  

1.5 Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)

• Thermisch induzierte CVD

• Metallorganische CVD (MO CVD)

• Wirbelschicht CVD

• Plasma CVD

• Photo CVD
  

2. Vorbehandlung der Substrate vor der Beschichtung
3. Grundlagen der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD)
3.1 Precursoren und Reaktionen Halogenide Metallkarbonyle Metallorganische Verbindungen Hydride
3.2 Thermodynamik der CVD. Computerprogramme
3.3 Strömungsvorgänge im CVD-Reaktor. Kinetik und Stofftransportmechanismus. Geschwindigkeitslimitierende Schritte. Sirius-Programm
3.4 Wachstumsmechanismus und Struktur der Schichten
3.5 Simulation des CVD-Prozesses über Computer-Programme (Fluent, SiaMod, Fasttest, Phoenix-CVD)

4. Chemische Gasphaseninfiltration (CVI).
4.1 Isotherme CVI
4.2 CVI mit thermischem und Druck-Gradient. Puls-CVI
4.3 Beschichtung von Fasern

5 Methoden zur Charakterisierung dünner Schichten

Credits: 5,0

UE: Moderne Beschichtungstechnologien, Übung

Lecturers: Prof. Dr.-Ing. Dipl.-Kfm. Bastian Etzold, N.N.
Time and place: n.V.; comments on time and place: n. Vereinbarung