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Praktikum Halbleiter- und Bauelementemesstechnik2.5 ECTS
Modulverantwortliche/r: Lothar Frey Lehrende:
Lothar Frey
Start semester: |
WS 2012/2013 | Duration: |
1 semester |
Präsenzzeit: |
45 Std. | Eigenstudium: |
30 Std. |
Lectures:
Empfohlene Voraussetzungen:
Inhalt:
Im Praktikum zur Halbleiter- und Bauelementemesstechnik wird ein Teil der in der gleichnamigen Vorlesung besprochenen Messverfahren praktisch durchgeführt. Zu Beginn des Praktikums wird die Relevanz der Messtechnik zur Prozesskontrolle aber auch in der Bauelementeentwicklung anhand eines typischen CMOS-Prozesses erläutert. Im Bereich Halbleitermesstechnik werden dann Versuche zur Scheibeneingangskontrolle, zu optischen Schichtdicken- und Strukturbreitenmessverfahren, sowie zur Profilmesstechnik durchgeführt. Im Bereich Bauelementemesstechnik werden MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren, Dioden, Widerstände und spezielle Teststrukturen elektrisch charakterisiert.
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden können,
physikalische und elektrische Mess- und Analysemethoden im Bereich der Halbleiter- und Bauelementemesstechnik anwenden,
Teststrukturen und Bauelemente mit geeignenten Methoden charakterisieren und die Messergebnisse bewerten.
Literatur:
- Praktikumsskript
Dieter K. Schroder: Semiconductor Material and Devices Characterization, Wiley-IEEE, 2006
W.R. Runyan, T.J. Shaffner: Semiconductor Measurements and Instrumentations, McGraw-Hill, 1998
A.C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, CRC, 2001
Organisatorisches:
Kann nach Absprache als Blockpraktikum durchgeführt werden
Weitere Informationen:
www: http://www.leb.eei.uni-erlangen.de/
Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan: Das Modul ist im Kontext der folgenden Studienfächer/Vertiefungsrichtungen verwendbar:
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
(Po-Vers. 2007 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik | Laborpraktikum Halbleiter- und Bauelementemesstechnik)
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science): 5-6. Semester
(Po-Vers. 2009 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik)
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science): 1-4. Semester
(Po-Vers. 2010 | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik)
Studien-/Prüfungsleistungen:
Laborpraktikum Halbleiter- und Bauelementemesstechnik_ (Prüfungsnummer: 75701)
- Prüfungsleistung, Studienleistung, unbenotet
- weitere Erläuterungen:
- Vorbereitung auf jeden Versuch
Teilnahme an allen Versuchen
Anfertigung von Versuchsprotokollen
Teilnahme am und Bestehen des Abschlusstesttats
- Erstablegung: WS 2012/2013, 1. Wdh.: SS 2013, 2. Wdh.: keine Wiederholung
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