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Strenger, Christian ; Uhnevionak, V. ; Burenkov, A. ; Bauer, Anton ; Pichler, Peter ; Erlbacher, Tobias ; Ryssel, Heiner ; Frey, Lothar:
Influence of Ion Implantation in SiC on the Channel Mobility in Lateral n-Channel MOSFETs.
In: ECS Trans. (2013), Nr. 58, S. 71-80
[doi>10.1149/05804.0071ecst]
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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