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Häublein, V. ;
Ryssel, Heiner
;
Frey, Lothar
:
Purity of ion beams: Analysis and simulation of mass spectra and mass interferences in ion implantation
.
In:
Advances in Materials Science and Engineering
(2012),
[doi>
10.1155/2012/610150
]
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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