UnivIS
Informationssystem der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg © Config eG 
FAU Logo
  Sammlung/Stundenplan    Modulbelegung Home  |  Rechtliches  |  Kontakt  |  Hilfe    
Suche:       
 
 Darstellung
 
Druckansicht

 
 
 Außerdem im UnivIS
 
Vorlesungs- und Modulverzeichnis nach Studiengängen

Vorlesungsverzeichnis

 
 
Veranstaltungskalender

Stellenangebote

Möbel-/Rechnerbörse

 
 
Häublein, V. ; Ryssel, Heiner ; Frey, Lothar:
Purity of ion beams: Analysis and simulation of mass spectra and mass interferences in ion implantation.
In: Advances in Materials Science and Engineering (2012),
[doi>10.1155/2012/610150]

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof