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Burenkov, A. ; Sekowski, Matthias ; Belko, V. ; Ryssel, Heiner:
Angular distributions of sputtered silicon at grazing gallium ion beam incidence.
In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 272 (2012), S. 23-27

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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