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Fet, A. ; Häublein, V ; Bauer, Anton ; Ryssel, Heiner ; Frey, Lothar:
Lanthanoid Implantation for Effective Work Function Control in NMOS High-kappa/Metal Gate Stacks.
In: AIP Conf. Proc. (Hrsg.) : ION IMPLANTATION TECHNOLOGY 2010
(18th International Conference on Ion Implantation Technology IIT 2010, -, January 7, 2011). Bd. 1321.
- : -, 2011, S. 237-240.
[doi>10.1063/1.3548359]
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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