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Laven, Johannes ; Job, R. ; Schulze, H.-J. ; Niedernostheide, F.-J. ; Häublein, V. ; Schulze, H. ; Schustereder, W. ; Ryssel, Heiner ; Frey, Lothar:
The Impact of Helium Co-Implantation on Hydrogen Induced Donor Profiles in FZ Si.
Vortrag: 218th ECS Meeting,
Las Vegas, NV, USA, 13. Okt.2010
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
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