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Laven, Johannes ; Job, R. ; Schulze, H.-J. ; Niedernostheide, F.-J. ; Häublein, V. ; Schulze, H. ; Schustereder, W. ; Ryssel, Heiner ; Frey, Lothar:
The Impact of Helium Co-Implantation on Hydrogen Induced Donor Profiles in Float Zone Silicon.
In: ECS Trans. 33 (2010), Nr. 11, S. 51-62
[doi>10.1149/1.3485682]
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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