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Walther, Sabine
; Schäfer, Stefan ;
Jank, Michael
; Heiko Thiem ;
Peukert, Wolfgang
;
Frey, Lothar
;
Ryssel, Heiner
:
Influence of annealing temperature and measurement ambient on TFTs based on gas phase synthesized ZnO nanoparticles
.
In:
Microelectronic Engineering
87 (2010), Nr. 11, S. 2312-2316
[doi>
10.1016/j.mee.2010.03.009
]
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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