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Kaiser, Jochen ; S. Koffel ; Pichler, Peter ; A. J. Bauer ; B. Amon ; A. Claverie ; G. Benassayag ; P. Scheiblin ; Frey, Lothar ; Ryssel, Heiner:
Honeycomb Voids due to Ion Implantation in Germanium.
In: Thin Solid Films 518 (2010), Nr. 9, S. 2323-2325
[doi>10.1016/j.tsf.2009.09.138]

Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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