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Kaiser, Jochen
; S. Koffel ;
Pichler, Peter
; A. J. Bauer ; B. Amon ; A. Claverie ; G. Benassayag ; P. Scheiblin ;
Frey, Lothar
;
Ryssel, Heiner
:
Honeycomb Voids due to Ion Implantation in Germanium
.
In:
Thin Solid Films
518 (2010), Nr. 9, S. 2323-2325
[doi>
10.1016/j.tsf.2009.09.138
]
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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