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Fet, A. ;
Häublein, Volker
; Bauer, Anton ;
Ryssel, Heiner
;
Frey, Lothar
:
Effective Work function tuning in high-k dielectric metal-oxide-semiconductor stacks by fluorine and lanthanide doping
.
In:
Journal of Applied Physics
(2010), Nr. 96, S. 053506
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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