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vom Dorp, Joachim
;
Erlbacher, Tobias
; Bauer, Anton ;
Ryssel, Heiner
;
Frey, Lothar
:
Dielectic Layers suitable for high voltage integrated trench capacitors
.
Vortrag: 16th Workshop on Dielectrics in Microelectronics WoDiM 2010,
Bratislava, 30. 06.2010
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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