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Schmitt, Holger ; Amon, B. ; Beuer, S. ; Petersen, S. ; Rommel, M. ; Bauer, A. J. ; Ryssel, Heiner:
UV Nanoimprint Lithography Process Optimization for Electron Device Manufacturing on Nanosized Scale.
Vortrag: 34th International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE) 2008,
Athen, Griechenland, 15-18.09.2008
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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