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Kozlowska, M. ; Oechsner, R. ; Pfeffer, M. ; Bauer, A. J. ; Meissner, E. ; Ryssel, Heiner ; Pfitzner, Lothar ; Maass, W.:
Properties of TaN Thin Films Produced Using PVD Linear Dynamic Deposition Technique.
In: Proceedings "14th International Conference on Solid Films and Surfaces" (2008),
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
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