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Kampen, C. ; Martinez-Limia, A. ; Pichler, Peter ; Burenkov, A. ; Lorenz, Jürgen ; Ryssel, Heiner:
On the Stability of Fully Depleted SOI MOSFETs Under Lithography Process Variations.
In: Hall, Stephen ; Walton, Anthony (Hrsg.) : Solid-State Device Reasearch Conference
(38th Solid-State Device Reasearch Conference, Edinburgh, Schottland, 15-19.09.2008).
- : IEEE, 2008, S. 194-197. - ISBN 978-1-4244-2364-4
[doi>10.1109/ESSDERC.2008.4681731]
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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