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Walther, Sabine ; Jank, Michael ; Ebbers, A. ; Ryssel, Heiner:
Ion Implantation Into Nanoparticulate Functional Layers.
In: Seebauer, Edmund G. ; Felch, Susan B. ; Jain, Amitabh ; Kondratenko, Yevgeniy V. (Hrsg.) : Ion Implantation Technology
(17th International Conference on Ion Implantation Technology 2008, Monterey (California), 08-13.06.2008).
Melville, NY, USA : American Institute of Physics, 2008, S. 537-540. (AIP Conf. Proc. Bd. 1066) - ISBN 978-0-7354-0597-4
[doi>10.1063/1.3033681]
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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