|
|
Grieb, M. ; Peters, D. ; Bauer, A. J. ; Friedrichs, P. ; Ryssel, Heiner:
Influence of the Oxidation Temperature and Atmosphere on the Reliability of Thick Gate Oxides on the 4H-SiC C(000-1) face.
In: Materials Science Forum 600 (2008), S. 597
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
|
 |
|
|
UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
|
|