|
Spoldi, G. ; Beuer, S. ; Rommel, M. ; Yanev, V. ; Bauer, A. J. ; Ryssel, Heiner: Experimental Observation of FIB Induced Lateral Damage on Silicon Samples. Vortrag: 34th International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE) 2008, Athen, Griechenland, 15-16.05.2008
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
|
|
|
|
UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
|
|