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Rambach, M. ; Bauer, A. J. ;
Ryssel, Heiner
:
Electrical and Topographical Characterization of Aluminium Implanted Layers in 4H Silicon Carbide
.
In:
Physica Status Solid (b)
245 (2008), S. 1315
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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