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Darstellung   Druckansicht      Außerdem im UnivIS   Vorlesungs- und Modulverzeichnis nach Studiengängen Vorlesungsverzeichnis     Veranstaltungskalender Stellenangebote Möbel-/Rechnerbörse	Schmitt, Holger ; Zeidler, M. ; Rommel, M. ; Bauer, A. J. ; Ryssel, Heiner: Custom-specific UV Nanoimprint Templates and Life-time of Antisticking Layers. In: Microelectronic Engineering 85 (2008), Nr. 5-6, S. 897 Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof