Roeder, R. ; Manke, C. ; Baumann, P. K. ; Petersen, S. ; Yanev, V. ; Gschwandter, A. ; Ruhl, G. ; Petrik, P. ; Schellenberger, M. ; Pfitzner, Lothar ; Ryssel, Heiner: Characterization of Ru and RuO2 Thin Films Prepared by Pulsed Metal Organic Chemical Vapor Deposition. In: Physica Status Solidi (c) 5 (2008), S. 1231
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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