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Sekowski, Matthias ; Burenkov, A. ; Hernandez-Mangas, J. ; Martinez-Limia, A. ; Ryssel, Heiner:
Angular Distributions of Sputtered Atoms from Semiconductor Targets at Grazing Ion Beam Incidence Angles.
In: Seebauer, Edmund G. ; Felch, Susan B. ; Jain, Amitabh ; Kondratenko, Yevgeniy V. (Hrsg.) : Ion Implantation Technology
(17th International Conference on Ion Implantation Technology, Monterey (California), 08-13.06.2008).
Melville, NY, USA : American Institute of Physics, 2008, S. 236. (AIP Conf. Proc. Bd. 1066) - ISBN 978-0-7354-0597-4
[doi>10.1063/1.3033602]
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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