|
|
Lemberger, Martin ; Thiemann, S. ; Baunemann, A. ; Parala, H. ; Fischer, A. ; Hinz, Jörn ; Bauer, Anton ; Ryssel, Heiner:
MOCVD of tantalum nitride thin films from TBTEMT single source precursor as metal electrodes in CMOS applications.
In: Surface and Coatings Technology 201 (2007), Nr. 22-23, S. 9154-9158
[doi>10.1016/j.surfcoat.2007.04.074]
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
|
 |
|
|
UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
|
|