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Erlbacher, Tobias
; Bauer, Anton ;
Ryssel, Heiner
:
Hafnium silicate as control oxide in non-volatile memories
.
In:
Microelectronic Engineering
84 (2007), Nr. 9-10, S. 2239-2242
[doi>
10.1016/j.mee.2007.04.010
]
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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