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Schmitt, Holger ; Zeidler, M. ; Rommel, Mathias ; Bauer, Anton ; Ryssel, Heiner: Custom-specific UV nanoimprint templates and life-time of antisticking layers. Vortrag: Posterpräsentation auf der MNE 2007, Kopenhagen, Dänemark, 23.-26.09.2007
Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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